Структура пиезорезистивног сензора

У овом сензору, трака отпорника је интегрисана на монокристалну силицијумску дијафрагму процесом интеграције како би се направио силицијумски пиезорезистивни чип, а периферија овог чипа је фиксно упакована у шкољку, а проводници електроде се изводе. Пиезорезистивни сензор притиска, такође познат као сензор притиска у чврстом стању, разликује се од лепљивог мерача напрезања, који треба да осети спољну силу индиректно кроз еластичне осетљиве елементе, али директно осећа измерени притисак кроз силиконску мембрану.

Једна страна силиконске дијафрагме је шупљина високог притиска која комуницира са измереним притиском, а друга страна је шупљина ниског притиска која комуницира са атмосфером. Генерално, силиконска дијафрагма је дизајнирана као круг са фиксном периферијом, а однос пречника и дебљине је око 20 ~ 60. Четири П траке отпорности на нечистоће су локално дифузне на кружној силиконској дијафрагми и повезане у пун мост, од којих две су у зони напона притиска, а друга два су у зони затезног напона, који су симетрични у односу на центар дијафрагме.

Поред тога, ту су и квадратна силиконска дијафрагма и сензор силиконске колоне. Силицијумски цилиндрични сензор је такође направљен од отпорних трака дифузијом у одређеном правцу кристалне равни силицијумског цилиндра, а две траке отпорне на затезање и две траке отпорне на притисак на притисак чине пун мост.

Пиезорезистивни сензор је уређај направљен дифузионим отпором на подлози од полупроводничког материјала према пиезорезистивном ефекту полупроводничког материјала. Његова подлога се може директно користити као мерни сензор, а дифузиони отпор је повезан у подлогу у облику моста.

Када се подлога деформише спољном силом, вредности отпора ће се променити и мост ће произвести одговарајући неуравнотежен излаз. Подлоге (или дијафрагме) које се користе као пиезорезистивни сензори су углавном силиконске и германијумске плочице. Силицијумски пиезорезистивни сензори од силицијумских плочица као осетљиви материјали привлаче све већу пажњу, а посебно су најширу примену полупроводнички пиезорезистивни сензори за мерење притиска и брзине.