Структура пиезоресистивног сензора

У овом сензору, трака отпорника је интегрисана на монокристалну силицијумску дијафрагму процесом интеграције како би се направио силиконски пиезоресистиве чип, а периферија овог чипа је учвршћено у шкољку, а водене улоге су изведене. Пиезоресистиве сензор притиска, такође познат као сензор притиска чврстог стања, разликује се од мерака за лепљење, што је потребно осјетити спољну силу индиректно кроз еластичне осетљиве елементе, али директно осећа измерени притисак кроз силицијумску дијафрагму.

Једна страна силиконске дијафрагме је шупљина високог притиска која комуницира са измереним притиском, а друга страна је шупљина нискоиплатог притиска комуникација са атмосфером. Генерално, силиконска дијафрагма је дизајнирана као круг са фиксном перифером, а омјер пречника дебљине је око 20 ~ 60. Трикови отпорности на кружне силицијуме, од којих је два су у целом мосту, два су у зони притиска на притисак, а друга два су у зони притиска, а друга два су у зони притиска на притисак на тензилично у погледу на тензиличну мрежу.

Поред тога, постоје и квадратни сензор силицијумске дијафрагме и силицијум. Цилиндрични сензор Силицијум је такође направљен од отпорности трака дифузијом у одређеном смеру кристалне равни силицијум цилиндра, а две затезне стресне траке и два притиска на стрес отпорна на стрес формирају цео мост.

Пиезоресистиве сензор је уређај који је направљен дифузијским отпором на подлогу полуводичких материјала према пиезоресистивном ефекту полуводичког материјала. Његова супстрат се може директно користити као мерни сензор, а отпорност на дифузију је повезана у подлогу у облику моста.

Када се супстрат деформише спољном силом, вредности отпора ће се мењати, а мост ће произвести одговарајућу неуравнотежену производњу. Подлога (или дијафрагме) која се користе као пиезоресистивне сензоре углавном су силицијумске вафле и херманијумске вафле. Силиконски пиезоресистивни сензори од силиконских вафера као осетљивих материјала привукли су више и више пажње, посебно солидне пиезоресистивне сензоре за мерење притиска и брзине се најчешће користи.