Сензор притиска мотора 2ЦП3-68 1946725 за Цартер багер

Поступак за припрему сензора притиска, који карактерише обухватајући следеће кораке:

С1, пружајући резину задњом површином и предњу површину; Формирање пиезоресистивне траке и јако допед контактна површина на предњој површини вафла; Формирање дубоке шупљине под притиском једва итјед задња површина вафла;

С2, лепљење листа за подршку на задњој страни вафла;

С3, производња рупа за олову и металне жице на предњој страни вафла и повезивање пиезоресистивних трака да би се формирао мост са пшеницом;

С4, депоновање и формирање слоја пасивације на предњој површини вафла и отварање дела пасивног слоја да би се формирала површина металне јастуке. 2. Производња метода сензора притиска према захтеву 1, назначена тиме, да С1 посебно садржи следеће кораке: С11: пружање решетка задњом површином и предњу површину и дефинисање дебљине филма осетљив на притисак на лифе; С12: ИОН имплантација се користи на предњој површини вафла, пиезоресистивне траке произведене су високим температурама дифузијским процесом и контакте се снажно допирају; С13: Депоновање и формирање заштитног слоја на предњој површини вафла; С14: Етовање и формирање дубоке шупљине притиска на задњој страни реф-а да формира филм осетљив на притисак. 3. Производња метода сензора притиска према захтеву 1, назначена тиме, да је вафер сои.

1962. Туфте и др. Произведен је пиезоресистивно сензор притиска са дифузним штрајкама силицијумних пиезоресистивних структура и силицијумске филмске структуре и започео је истраживање пиезоресистивног сензора притиска. Крајем 1960-их и почетком 1970-их, појављивање три технологије, наиме, силицијум анизотропске технологије, ионска технологија имплантације и технологије за лепљење на анодичној промјени у сензору притиска, који је одиграо важну улогу у побољшању перформанси сензора притиска. Од 1980-их, уз даљи развој технологије микромахинга, као што су анизотропни јетхинг, литографија, дифузијска допинг, ионска имплантација, везивање и премазивање, величина сензора притиска је континуирано смањено, побољшана је осетљивост и излаз је висок и перформанс је одличан. Истовремено, развој и наношење нове технологије микромахиња чине да је дебљина филма прецизно контролисана дебљина притиска.