Применљиво на Пассат Цоммон Раил сензор притиска горива 06Е906051К

1. Поступак за формирање сензора притиска, који садржи:

Обезбеђивање полупроводничког супстрата, при чему су први међуслојни диелектрични слој, први међуслојни диелектрични слој и други међуслојни диелектрични слој формирани на полупроводничкој подлози.

Доња електродна плоча у првом међуслојном диелектричном слоју, прва заједничка електрода која се налази на истом слоју као и доња електродна плоча и размакнута.

Повезивање слојева;

Формирање жртвеног слоја изнад доње поларне плоче;

Формирање горње електродне плоче на првом међуслојном диелектричном слоју, првом међусобном слоју и жртвованом слоју;

Након формирања жртвеног слоја и пре формирања горње плоче, у првом слоју међусобног повезивања

Формирање прикључног жлеба и попуњавање прикључног жлеба горњом плочом да се електрично повеже са првим слојем за међуповезивање;Или,

Након формирања горње електродне плоче, у горњој електродној плочи и првом слоју међусобног повезивања формирају се жлебови за повезивање, који

Формирање проводног слоја који повезује горњу електродну плочу и први слој за међусобно повезивање у прикључном жлебу;

Након електричног повезивања горње плоче и првог слоја међусобног повезивања, уклањање жртвеног слоја да се формира шупљина.

2. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 1, назначен тиме, што у првом слоју

Метода за формирање жртвеног слоја на међуслојном диелектричном слоју обухвата следеће кораке:

Наношење слоја жртвованог материјала на први међуслојни диелектрични слој;

Узорак слоја жртвеног материјала да би се формирао жртвени слој.

3. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 2, назначен тиме што се користе фотолитографија и гравирање.

Слој жртвеног материјала је обликован поступком гравирања.

4. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 3, назначен тиме, што је оштећени слој

Материјал је аморфни угљеник или германијум.

5. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 4, назначен тиме, што је оштећени слој

Материјал је аморфни угљеник;

Гасови за нагризање који се користе у процесу нагризања слоја жртвеног материјала укључују О2, ЦО, Н2 и Ар;

Параметри у процесу нагризања слоја жртвеног материјала су: опсег протока О2 је 18 СЦЦМ ~ 22 СЦЦМ, а брзина протока ЦО је 10%.

Брзина протока се креће од 90 СЦЦМ до 110 СЦЦМ, брзина протока Н2 се креће од 90 СЦЦМ до 110 СЦЦМ, а брзина протока Ар.

Опсег је 90 СЦЦМ ~ 110 СЦЦМ, опсег притиска је 90 мтор ~ 110 мтор, а снага пристрасности је

540в～660в.