Применљиво на Пассат Фуел Цоммон Сенсор железничког притиска 06Е906051К

1. Поступак за формирање сензора притиска, који садржи:

Омогућавање полуводичке подлоге, назначен тиме што се на полуводичкој супстрату формирају први преплитни диелектрични слој, први преплет диелектрични слој и други прелазни диелектрични слој.

Доња плоча електрода у првом преносу диелектричном слоју, првој обостраној електроди која се налази на истом слоју као и доња електрода плоча и одвојена.

Повезивање слојева;

Формирање жртвеног слоја изнад доњег поларног плоче;

Формирање горње електродне плоче на првом слоју за преласка диелектрични слој, први слој за међусобно повезивање и жртвени слој;

Након формирања жртвеног слоја и пре формирања горње плоче, у првом слоју међусобне везе

Формирање утора за повезивање и пуњење већег утора са горњом плочом за електрично повезивање са првим слојем за међусобно повезивање; Или,

Након формирања горње електродневне плоче, повезивање утора формирају се у горњој плочи електрода и први слој за међусобно повезивање, који

Формирање проводљивог слоја који повезује горњу плочу електрода и први слој за међусобно повезивање у везу утора;

Након електричног повезивања горње плоче и првог слоја за међусобно повезивање, уклањање жртвеног слоја да бисте формирали шупљину.

2 Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 1, назначен тиме што је у првом слоју

Метода за формирање жртвеног слоја на слој Интерлаиер Диелектрични слој садржи следеће кораке:

Депоновање слоја са жртвеним материјалом на првом слоју за преласка диелектрични слој;

Узорковање слоја жртвеног материјала да би се формирао жртвени слој.

3. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 2, назначен тиме што се користе фотолитарија и гравирање.

Слој жртвеног материјала је узорак процесом јеткања.

4. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 3, назначен тиме, да жртвени слој

Материјал је аморфни угљеник или германијум.

5. Поступак за формирање сензора притиска према захтеву 4, назначен тиме што жртвени слој

Материјал је аморфни угљеник;

Етонинг гасови који се користе у процесу јеткања Слој жртвеног материјала укључују О2, ЦО, Н2 и АР;

Параметри у процесу јеткања Слој жртвених материјала су: опсег протока О2 је 18 СЦЦМ ~ 22 СЦЦМ, а брзина протока ЦО је 10%.

Проток се креће од 90 СЦЦМ до 110 СЦЦМ, брзина протока Н2 креће се од 90 СЦЦМ до 110 СЦЦМ и брзина протока АР.

Распон је 90 СЦЦМ ~ 110 СЦЦМ, опсег притиска је 90 мТОР ~ 110 мТОР, а снага пристрасности је

540В ~ 660В.